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江蘇鵬舉半導體設備技術有限公司
江蘇鵬舉半導體設備技術有限公司由江蘇省產業技術研究院和南通中央創新區共同投資成立,是一家專注于半導體關鍵組件及特種工藝設備的高新技術公司,集設計、研發、制造、銷售及工藝技術支持服務于一體的綜合解決方案供應商。公司集聚國內外半導體領域技術專家,自主研發生產國內半導體產業亟需的“卡脖子”關鍵組件及工藝設備。目前主要產品包括高真空管路、腔室、柵網、離子源、原子層沉積/刻蝕(ALD / ALE)及離子束刻蝕/沉積設備(IBE/IBD )等,廣泛應用于IC芯片、MEMS、光通信、強激光、深紫外、磁存儲等器件的生產。
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